Suche mechaniczne pompy próżniowe mają szeroki zakres zastosowań, przede wszystkim w następujących obszarach:
W procesie przygotowania polikrzemu w niskociśnieniowych systemach chemicznego osadzania z fazy gazowej (LPCVD);
W procesach trawienia półprzewodników. Te procesy produkcyjne często obejmują wykorzystanie lub wytwarzanie gazów korozyjnych i cząstek ściernych;
W niektórych procesach-generowania cząstek-poza przemysłem półprzewodników-, gdzie niepożądane jest mieszanie się cząstek z olejem pompy, a zamiast tego pożądane jest ich wydalenie z pompy; Aby spełnić te wymagania, można zastosować określone typy suchych, mechanicznych pomp próżniowych;
W operacjach destylacji, suszenia, odgazowywania i pakowania w przemyśle chemicznym, farmaceutycznym i spożywczym, gdzie konieczne jest zapobieganie zanieczyszczeniu rozpuszczalnikami organicznymi, odpowiednim wyborem są suche pompy próżniowe;
Podobnie jak przed-pompami (pompy do obróbki wstępnej) w ogólnych-bezolejowych, czystych systemach próżniowych, aby zapobiec zanieczyszczeniu oleju.
